超音波モータ

HRモータ

汎用性のある超音波モータHRモータ

HRモータは汎用性のある超音波モータです。
直線および回転ステージを動かすのに用いられます。
一般的な摩擦抵抗の低いステージやその他の機器に簡単に取り付けられます。

メーカー製品ページ

HRモータは単体エレメントから８つのエレメントを重ね合わせたモータまで各種取り揃えております。
HRモータは直線および回転ステージを動かすのに用いられます。
毎秒数μから250mmまでの広い可変速範囲を持ち、一般的な摩擦抵抗の低いステージやその他の機器に簡単に取り付けられます。

【主な特徴】
１）移動距離に制限がない
２）1μ/sec～250mm/secまでの広い可変速範囲
３）優れた動きおよび静止性能を持つ
４）100nm以下の分解能（条件による）
５）非磁界モータタイプでは、外部への磁界障害も与えません
６）真空仕様あり

主な仕様	HR1	HR2	HR4	HR8

最大速度（mm/sec）	250	250	250	250
静的保持力（N）	3.5	7	14	28
非通電時剛性（N/μ）	0.8-1.0	1.4-1.8	2.3-2.8	3.3-3.8
サイズ（LxWxH mm）	40.5x25.7x8.0 40.5x25.7x7.7（Uモデル）	40.5x25.7x12.7 40.5x25.5x12.7（Uモデル）	41.3x46.6x14.4 41.3x46.6x14.9（Uモデル）	41.3x46.6x23.3 41.3x46.6x23.8（Uモデル）
質量（g）	30 20（V、Uモデル）	60 40（V、Uモデル）	73	170 120（V、Uモデル）
最大電圧	280Vrms 39.6kHz正弦波	280Vrms 39.6kHz正弦波	270Vrms 39.6kHz正弦波	270Vrms 39.6kHz正弦波
最大消費電流（mArms）	120-250 （ケーブル長さに依存）	250	320	600
最大消費電力（W）	5	10	15	30
環境仕様	周囲温度：0～50℃ 保管時温度：-40～70℃ 湿度：0～80%RH　（結露なきこと）高真空度（Vモデル）：1.4x10^-5Pa 超高真空度（Uモデル）：1.4x10^-8Pa 公称寿命：20,000時間（公称動作条件による）
モデル	-S：標準モデル -Ｖ：高真空対応モデル -U：超高真空対応モデル -N：非磁界モデル（MRI対応）　 ※ケーブル長さはご指定下さい。

ナノモーション社ではHRモータ駆動のため専用のドライバを用意しています。
用途によって種類があります。
またドライバは、モータのエレメント数に合わせて選定する必要があります。
詳細は左の製品紹介ページをご参照ください。