〇FBリニアステージ（FB）
FBシリーズの製品ラインは、単軸および多軸アプリケーションで使用できる標準のモジュラーリニアステージのファミリーです。ステージ構成は、クロスローラーベアリング、リニア光学式エンコーダ、およびナノモーション社の超音波モータを利用しています。ステージは幅広い移動⾧で提供され、X / YまたはX / Y / Zまたは他の多軸構成で組み合わせることができます。エンコーダの分解能は、さまざまな性能基準を達成するために変更できます。必要な力/加速要件を満たすために、断面ごとに異なるサイズのモーターがあります。
例えば、FBS100100の機械的特性、性能仕様は下記になります。

〇FRロータリーステージ（FRS060）
FRロータリーステージ（FRS060）は、超音波モータ、クロスローラーベアリング、非接触高解像度ロータリーエンコーダを利用して、最もコンパクトな設置面積を提供します。さまざまなエンコーダ分解能とモーターを組み合わせることで、FRS060は、1μradまでのさまざまな速度、力、および位置決め要件に対応できます。
FRS060ロータリーステージは、標準、真空、およびUHV構成で利用できます。

FRS060360の機械的特性、性能仕様は下記になります。

〇FGゴニオステージ（FGS）
FGゴニオステージ（FGS）は、ステージ上のピボットポイントの周りに角度のある傾斜運動を提供します。各FGステージは、HR4モーターと光学位置センサー付きの精密クロスローラーベアリングを利用しています。ステージは、他の線形,回転ステージと組み合わせて、独立して、またはペアで使用できます。

FGS013S125/FGS013S160の機械的特性、性能仕様は下記になります。

〇FZくさび形ステージ（FZ080）
FZくさび形ステージ（FZ080）は、くさび形機構による精密な垂直移動ステージです。80mmの正方形のステージは、直線移動するために精密なクロスローラーを利用しており、垂直方向に10mmの移動が可能です。くさび形機構は、高精度の光学位置センサーを使用して、垂直変位をエンコードしています。そのため、任意の方向からのアクセスを提供できます。

FBZ085010の機械的特性、性能仕様は下記になります。