ここに注目
半導体製造装置の真空チャンバ内での搬送に使える真空用超音波モータ。
この超音波モータは、高速移動とサブナノメートルの位置決めを実現。
サーボモータのEtherCATネットワークを構築できるモータドライバ。
半導体製造装置の真空チャンバ内での搬送に使える真空用超音波モータ。
この超音波モータは、高速移動とサブナノメートルの位置決めを実現。
サーボモータのEtherCATネットワークを構築できるモータドライバ。
PDFをダウンロードできます
Nanomotion社の超音波モータは、国内の複数の半導体製造会社でも使用されています。
その採用理由は次の4ポイントです。
１．歯車やボールねじなど使わずモータだけで直接ステージを動かせる
２．真空度1.4x10-8Pa（10-10torr）まで動作可能
３．HRモータなら最高速度250mm/secの粗動、１nmの微小送りが可能
４．モータへの電源が途絶えてもステージを保持できる
Nanomotion社は、イスラエルの450mm計測装置開発国家プロジェクト「Metro450」に参加。
450mm大口径ウエハのために、HRより駆動力を増したSEモータを開発しました。
動画はSEモータを搭載したX-Yステージの評価試験機です。
このSEモータは日本でも供給をはじめました。
超音波モータのエンコーダはナノメートルの制御を要求されます。
そのため分解能が非常に高いですが、Nanomotion社の超音波モータは高速で動作もします。
このため超音波モータ・ステージを動作させるためにGALIL社のモーションコントローラをお勧めします。
超音波モータに最適化した専用ファームウェアも用意しております。
より詳しい情報をお求めなら製品情報、またはお問い合わせください!
ADVANCED Motion Controls社のサーボモータドライバには、
半導体製造装置分野で使われるネットワークEtherCATに対応したモデルがあります。
EtherCATには次の利点があります。
１．I/Oやフィードバックなど周辺機器の省配線化
２．ネットワークが高速なためリアルタイムに制御できる
ADVANCED Motion Controls社のサーボモータドライバは、半導体製造の前工程/後工程で活用できます。
ウエハ・ハンドリングロボット、チャンバー開閉、洗浄工程、ウエハ・ダイシングなど。
ADVANCED Motion Controls社のEtherCAT対応PCBタイプのサーボモータドライバは、
EtherCATに対応した１台のドライバで４軸までSS動作可能なDxMテクノロジーがあります。
より詳しい情報をお求めなら製品情報、またはお問い合わせください!
超音波モータのページへ