ナノモーション社の超音波モータでもっとも多く使われているシリーズです。
直線および回転ステージを動かすのに用いられます。
速度は数μm/secから250mm/secまでの広い可変域を持ち一般的な摩擦抵抗の少ないステージなどの機器に簡単に取り付けられます。

【主な特徴】

■移動距離に制限がない
■1μ/sec～250mm/secまでの広い可変速範囲
■優れた動きおよび静止性能を持つ
■100nm以下の分解能（条件による）
■非磁界モータタイプでは、外部への磁界障害も与えません
■真空仕様あり

ナノモーション社、最新の超音波モータ。
定番のHRモータに比べ同じく動力で足は2倍、そして消費電力は半分です。

【主な特徴】

■移動距離に制限がない
■1μ/sec～500mm/secまでの広い可変速範囲
■優れた動きおよび静止性能を持つ
■サブナノメートルの分解能（条件による）
■低消費電力
■高真空アプリケーション

ナノモーション社が扱う最小の工業用超音波モータです。
このモータは、コンパクトなASICベースのドライバで駆動され、市販の多くのサーボ・コントローラとつないで制御が可能です。特に量産機器に最適です。

【主な特徴】

■市販のサーボコントローラと連携しやすい。
■小型
　EDGE：13.5mm x 7.6mm x 3.15mm
　EDGE-4X：22.8mm x 12.4mm x 4.3mm
■省電力
　EDGE：0.75W
　EDGE-4X：2W
■軽量
　EDGE：0.55g
　EDGE-4X：2.2g
■ダイナミック速度範囲が広い
■移動、停止性能に優れる

FBステージは、単一または多軸アプリケーションに使用できる標準モジュラーリニアステージ群です。
ステージは、クロスローラベアリング、リニアエンコーダおよびナノモーション超音波モータ（HRシリーズ）を採用しています。
リニアステージの他に、回転ステージとしてFRS060があります。これは、直径60mmのセラミックリングと非接触光学エンコーダを組み合わせたクロスローラ回転ベアリングで構成されています。分解能は0.5arc秒です。
また、くさび形のZステージとしてFBZやFZタイプ、ゴニオステージとしてFGタイプもあります。
真空仕様品もあります。

ナノモーションのモータ・ドライバは用途によって種類があります。
またドライバは、モータのエレメント数に合わせて選定する必要があります。

■AB1A
　ナノモーションの標準ドライバ。過酷な仕様にも適応し広範囲に用いられています。
　最大エレメント数は32まで。
■AB2
　独自のDCモードを用いて、1ナノメータレベルの位置決めを可能にした超高分解能（UHR）機能を搭載しています。
　最大エレメント数は16まで。
■AB4
　12V電源駆動用コンパクトタイプのドライバです。
　最大エレメント数は4まで。
■AB5
　PLCをはじめ市販のコントローラで制御可能なリニア増幅器です。
　従来必要だった超音波モータを動かすための特別なアルゴリズムは不要です。
　但し、真空用モータには使用できません。

プレートは、超音波モータのエレメントとステージが接触する部分にエポキシで固定します。
材質はセラッミクベルトまたはセラミックコーティングした鉄製ベルトの2種類があります。
直線プレートのほか、リングおよびディスク型の標準品があり、特注品も取り扱っています。